Dry성막

개요

• 당사 독자적인 Dry 성막 기술로, 고객의 요구에 맞추어, PVD, CVD, 증착을 제안합니다.
• PVD, CVD, 증착으로 개발 용도~양산까지 폭넓은 제안이 가능합니다.
• 당사 독자적인 Dry 성막 기술로, PV·O-LED·QD등의 용도에 있어서, 고객 요구에 응합니다.

특장점

• RtoR의 드라이 성막에 대응하여, 고생산성을 실현.
• 수증기 투과율 : 1 × 10-4 ~ 1 × 10-5 (g / m 2 * day)
• 무기막 적층 : 10~30층
• 고투명성 : 광투과율 90%이상 (가시광선 영역에서)

사양

파일럿 장비 사양

기재 폭	300㎜, 성막원 1~2원 탑재
장치 구성	일체형 챔버: 1 플라즈마 전극: 1

양산 장치 사양

기재 폭	Max 1400㎜ 유효폭 : Max1300㎜
롤 권경	Max 500㎜(6인치 코어시)
장치 구성	롤용 챔버: 2 성막용 챔버 : 1 플라즈마 전극: 4