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레이저 마이크로트리밍 트랜스퍼 장치 LMT-TR시리즈
다양한 프로세스에 적용하여 Micro/Mini LED 제조 프로세스 효율화에 기여
특장점
독자적인 레이저 기술로 1.LED Trimmig 2.LED 1by 1Transfer 3.LED Mass Transfer 4.Metal Cut 프로세스에 적용.
- 당사 검사 장비 INSPECTRA 시리즈와의 원활한 검사 데이터 교환으로 리페어 프로세스의 효율화가 가능.
- 다양한 프로세스에 적용하여 마이크로·미니 LED 제조 프로세스의 연구 개발~양산까지 대응이 가능.
사양
| 레이저 파장 | 266nm / 532nm |
|---|---|
| 기판 사이즈(Donor) | 4/6 inch |
| 기판 재질(Donor) | 사파이어,석영 |
| 기판 사이즈(Target) | 370 x 470nm (max) |
| 스팟 사이즈 | □2〜150µm |
| 가공 위치 정밀도 | ±2µm (repeatability) |
| 가공 속도 | 0.7sec/1process |
| 장치 크기 | W260mm x D2300mm x H2100mm |
적용 사례
| Inspection | NG Chip Trimming | 1 by 1 Transfer | |
|---|---|---|---|
| Microscope |  |
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| SEM Image |
| before | after | |||
|---|---|---|---|---|
| Metal Cut |  |
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