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주변 노광 장치
액정패널 제조공정에서 주변부의 불필요한 레지스트 제거
액정 패널의 제조 공정에 있어서 주변부의 불필요한 레지스트를 제거하기 위한 노광을 실시하는 장치입니다.
도레이 엔지니어링에서는, 주변 노광과 타일러의 양쪽의 기능을 가진 「주변 노광 장치 부착 타일러」도 라인 업 하고 있습니다.
특장점
- G11 기판까지 대응 실적 있음
- 기판 중앙 부분의 노광도 가능
- 스킵/스텝노광가능
- 노광 광원에 UV-LED를 채용(광원의 장수명화)
- 타이틀러 기능을 부속한 '주변 노광 부착 타이틀러' 제안 가능
용도
- 디스플레이 분야:
- TFT, CF기판 등
가공 예
표준(입)
Step
논문
사양
| 대응 기판 크기 | 300 × 400mm ～ 2940 x 3370mm |
|---|---|
| 유리 기판 두께 | 0.3～1.1mm |
| 택트 타임 | 45sec (G6) |
| 주변 노광폭 | ～ 70mm |
| 광원 | UV-LED 또는 UV-LAMP |
