FPD용 이물 검사 장치 HS-930e

개요

당사의 독자적인 광학 기술 채택으로 검사 속도 약 30% Up(당사 HS-930 대비) 실현
얇은 기판에 대한 표리 판정 능력을 대폭 향상시켰습니다

특장점

• 고속, 고감도 이물 측정 가능
  Ex. 114sec (G6 Glass, Standard Sensitivity Mode)
• 기존 검사 원리에 신개발의 표리판정 광학계를 조합하여 HS-930을 초과하는 표리판정 능력을 실현
  Ex. Over 1 : 70 (t = 0.3mm)
• 리뷰현미경을 탑재하여 수율향상을 위한 이물질 관찰가능
• G2~G10.5사이즈 가능

옵션 기능

• Loader/Unloader
• AGV/MGV
• CIM
• 표리 동시 검사 기능
• 이물 맵 비교 기능