積層薄膜加工レーザーパターニング装置

当社独自の光学技術によりナノメーターレベルで積層された薄膜のターゲットレイヤーのみを選択加工する技術を開発しました。
有機薄膜太陽電池、有機EL照明などの分野で金属薄膜層、有機膜層のみを除去し、下地層にダメージの無い加工を実現しています。