- HOME
- 事業・製品
- 液晶・その他ディスプレイ関連装置
- タイトラー
- 周辺露光装置
周辺露光装置
液晶パネルの製造工程において周辺部の不要なレジストを除去
液晶パネルの製造工程において周辺部の不要なレジストを除去するための露光を行う装置です。
東レエンジニアリングでは、周辺露光とタイトラーの両方の機能を持った「周辺露光装置付タイトラー」もラインアップしています。
特長
- G11基板まで対応実績あり
- 基板中央部分の露光も可能
- スキップ／ステップ露光可能
- 露光光源にUV-LEDを採用（光源の長寿命化）
- タイトラー機能を付属した「周辺露光付タイトラー」の提案可能
用途
- ディスプレイ分野:
- TFT・CF基板など
加工例
標準（口）
Step
田の字
仕様
| 対応基板サイズ | 300 × 400mm ～ 2940 x 3370mm |
|---|---|
| ガラス基板厚さ | 0.3～1.1mm |
| タクトタイム | 45sec (G6) |
| 周辺露光幅 | ～ 70mm |
| 光源 | UV-LED またはUV-LAMP |
