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TSコータ（TORAY Slit-nozzle Coater）
東レ独自技術を生かした高精度枚葉塗布装置
当社TSコータは国内外において、液晶カラーフィルター、TFTアレイ製造工程、半導体、太陽電池業界などで幅広く採用されています。
特長
大型基板への対応・ハンドリング技術
- 最大3,000mm(G10.5)基板まで対応・ハンドリング可能。
- 大型サイズのスリットコーターでは世界No.1のシェア。
高精度塗布技術
- キーデバイスの内製化により、タイムリーな開発・高品質塗布を実現。
- ムラや膜厚精度の要求が厳しいLCD用途でNo.1の実績。
塗布~乾燥までのトータル提案
- 洗浄～塗布～乾燥～Cureの一貫ラインでのプロセス提案が可能。
- デモラインによるプロセスサポート。
用途
- FPD
- : LCD、CF/TFT、OLED、タッチパネル
- 太陽電池
- : ペロブスカイト太陽電池
- 半導体
- : PLP、FOPLP、ガラスインターポーザ
- 調光ガラス
- : スマートガラス、エレクトロクロミック、機能性ガラス、建材用ガラス など
仕様
| 対応基板サイズ | 300mm×400mm〜2,940mm×3,370mm（G1〜G11サイズ） |
|---|---|
| 塗布材料 | BM, RGB, OC, PS, MVA, Posiレジスト、 エレクトロクロミック材、ポリイミド材、 電極材料 anode/cathode材、 ペロブスカイト発電材料、輸送層 |
| 塗布方法 | Slit-Dieによる塗布液の吐出、ステージ移動・ガントリー移動 |
| 対応粘度 | 1〜10,000CP |
| オプション | エアナイフ、ホットプレート/コールドプレート、真空乾燥装置 |
ペロブスカイト太陽電池 適用事例
| Coat FAPbI3 with Air knife | Vacuum Dry | Bake |
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| Toray Coater | Toray VCD | Hot Plate / Oven |
MAPbI3 Coated glass
| Coat PbI2 | Natural Dry | Coat FAI | Bake |
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| Toray Coater with Air knife | Natural Dry | Toray Coater | Hot Plate / Oven |
調光ガラス 適用事例
| Transparent Conductive | Anode / Cathode | Electrocode / UVcurable resin | Vacuum Lamination |
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| Sputtering | Toray Coater | Dispenser | Lamination |
半導体パッケージ 適用事例
| Layer | Release | Adhesive | Insulating | Resist |
|---|---|---|---|---|
| Viscosity | 6 cP | 110 cP | 20 cP | 13.5 cP |
| Thickness | 0.5 um | 10 um | 10 um | 12 um |
| Uniformity | 2.7% | 2.3% | 1.8% | 2.3% |
| (E.E.10mm) |  |
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